涂裝廢氣、烤箱廢氣所產(chǎn)生的有機物在等離子體光催化中的氧化降解主要有以下幾個過程：
⊙ 高能電子的作用下了產(chǎn)生氧化性的自由基O、OH、HO2。
⊙ 有機物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子鍵斷裂形成小碎片基團或原子。
⊙ O、OH、HO2 與激發(fā)原子有機物分子、破碎的分子基團、自由基等一系列自由基反應。
等離子體中的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基都是極活潑的反應性物種，使通常條件下難以進行或速度很慢的反應變得快速，它們再進一步與污染物分子、離子反應,從而使污染物得到降解，尤其有利于難降解污染物的處理。
另外，由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發(fā)粒子向下躍遷能產(chǎn)生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發(fā)半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。光生空穴具有很強的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2 和H2O發(fā)生反應生成羥基自由基，從而進一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協(xié)同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質和滅菌除臭。
等離子體光催化它集合了等離子和光催化的優(yōu)點，優(yōu)勢互補，而且兩者之間能夠起到協(xié)同作用，克服雙方存在的缺點，相互促進,，因而對空氣污染物具有優(yōu)良的去除效果。等離子體光催化技術具有凈化效率高、能耗低、適應性廣、光催化劑自動活化等優(yōu)點，在去除有機廢氣中顯示非常好的效果。
