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經(jīng)濟型智能旋涂儀/勻膠機12AC

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所  在  地西安市

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更新時間:2025-07-21 14:28:24瀏覽次數(shù):17次

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商鋪產(chǎn)品:66條

所在地區(qū):陜西西安市

產(chǎn)品簡介

陜西毅杰推出新一代智能觸屏實驗室勻膠機,主打性價比,六大優(yōu)勢,高工藝,高標(biāo)準(zhǔn),采用實用的設(shè)計理念,配合精密的運動控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)計小巧,適合安裝在手套箱,通風(fēng)櫥等特定環(huán)境中??煞攀痔紫?,年涂片可達10000片;轉(zhuǎn)速:100-7000R;5段自定義程序;基片尺寸:5-100mm;多種吸盤可選;運行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動時間可實時顯示。詳細(xì)技術(shù)方案可咨詢:

詳細(xì)介紹

工作原理

勻膠過程包括滴膠,高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個步驟;

1.靜態(tài)滴膠

就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等,滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高和/或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠;

2.動態(tài)滴膠

這種方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時進行滴膠,“動態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開,減少光刻膠的浪費,采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動態(tài)滴膠尤其適用,不會產(chǎn)生針孔.

3.滴膠之后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)

使光刻膠層變薄達到最終要求的膜厚,這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小??焖傩D(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定最終膠膜的厚度。

一般來說,勻膠轉(zhuǎn)速快,時間長,膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多,這些因素在勻膠時往往相互抵銷并趨于平衡。所以給予勻膠過程以足夠的時間,讓諸多影響因素達到平衡。



詳細(xì)的技術(shù)方案可致電或微信:!


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